薄膜电阻工艺和特点

光颉 时间:2019-08-13

  • 厚膜电阻器又称为玻璃釉电阻器,其导电膜层由玻璃相(硼、铅、铝硅酸盐玻璃,硼酸盐玻璃等)、导电相(如Ru2O)、有机粘合剂(如有机树脂)按照一定比例调制而成的浆料烧结而成。

  • 该类电阻器膜层厚度一般为10~50μm。

相比于薄膜电阻,厚膜电阻:

  1. 阻值范围更宽(0.005Ω~1TΩ)

  2. 精度(一般从0.01%到5%)与温漂更差(一般从2ppm/℃到400ppm/℃)

  3. 制造工艺更为简易,成本更低

  4. 功率耐受更强,适合做功率电阻


薄膜电阻采用的是真空蒸发磁控溅射等工艺方法。